德國菲希爾公司的X射線熒光鍍層膜厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237是一款應(yīng)用廣泛的能量色散型x射線鍍層測厚及材料分析儀。這款儀器專門是為測量分析極薄鍍層和超小含量而設(shè)計,是用于質(zhì)量控制,質(zhì)量檢驗和生產(chǎn)監(jiān)控的合適的測量儀器。典型的應(yīng)用領(lǐng)域有:
1,測量大規(guī)模生產(chǎn)的電鍍零部件
2,測量微小區(qū)域上的薄鍍層
3,測量電子工業(yè)或半導(dǎo)體工業(yè)中的功能性鍍層
4,全自動測量,如測量印刷線路板
德國菲希爾公司的X射線熒光鍍層膜厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237設(shè)計理念:
FISCHERSCOPE X-RAY
XDLM237設(shè)計為界面友好的臺式測量儀器系列,配備了馬達驅(qū)動的X/Y工作臺,當保護門開啟時,工作臺會自動移到放置樣品的位置。馬達驅(qū)動的可編程Z軸升降系統(tǒng)。
高分辨率的彩色視頻攝像頭可方便定位測量位置。配備了激光點,可以輔助定位并快速對準測量位置。
測量箱底部的開槽是專為面積大而形狀扁平的樣品所設(shè)計,由此儀器就可以測量比測量箱更長和更寬的樣品。例如:大型的印制電路板。
帶有放大功能和十字線的集成視頻顯微鏡簡化了樣品擺放,并且允許測量點的調(diào)整。
所有的儀器操作,以及測量數(shù)據(jù)的計算和測量數(shù)據(jù)報表的清晰顯示,都可以通過功能強大而界面友好的WinFTM®軟件在電腦上完成。
XDLM237型鍍層測厚及材料分析儀完全滿足DIN ISO 3497標準和ASTM B 568標準,型式許可符合德國“Deutsche R?ntgenverordnung-R?V”法規(guī)規(guī)定。
德國菲希爾公司的X射線熒光鍍層膜厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237技術(shù)參數(shù)規(guī)格簡介:
通用規(guī)格
設(shè)計用途
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能量色散X射線熒光鍍層測厚及材料分析儀 (EDXRF) 用來測量薄鍍層和微小結(jié)構(gòu), 分析合金和微量組分。
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元素范圍
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從元素 氯(17) 到 鈾(92) 配有可選的WinFTM® BASIC軟件時,多可同時測定24種元素
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形式設(shè)計
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臺式儀器,測量門向上開啟
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測量方向
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從上到下
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德國菲希爾公司的X射線熒光鍍層膜厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237X射線源
X射線管
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帶鈹窗口的微聚焦鎢管
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高壓
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三檔: 30 kV,40 kV,50 kV
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孔徑(準直器)
標準(523-440)
可選(523-366)
可選(524-061)
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4個可切換準直器
[mm]: ?0.1, ?0.2,
0.05x0.05, 0.2x0.03 [mm]: ?0.1, ?0.2, ?0.3, 0.3x0.05 [mm]: ?0.1, ?0.2, 0.3 x
0.05, 0.05x0,05 其他可按要求定制
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基本濾片
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3種可切換的基本濾片(標準配置:鎳,鋁,無)
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測量點
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取決于測量距離及使用的準直器大小, 實際的測量點大小與視頻窗口中顯示的一致 小的測量點大小: 光圈約? 0.1
mm(選用準直器0.05x0.05 mm時)
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X射線探測
X射線接收器
測量距離
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比例接收器
0 ~ 80 mm,使用保護的DCM測量距離補償法
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視頻系統(tǒng)
視頻系統(tǒng)
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高分辨率CCD彩色攝像頭,沿著初級X射線光束方向觀察測量位置 手動聚焦,對被測位置進行監(jiān)控 十字線(帶有經(jīng)過校準的刻度和測量點尺寸) 可調(diào)節(jié)亮度的LED照明,激光光點用于定位樣品
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放大倍數(shù)
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40x - 160x
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電氣參數(shù)
電源要求
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交流 220 V 50 Hz
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功率
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大 120 W (不包括計算機)
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保護等級
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IP40
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尺寸規(guī)格
外部尺寸
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寬x深x高[mm]:570 x 760 x 650
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內(nèi)部測量室尺寸
重量
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寬x深x高[mm]:460 x 495 x 146
120kg
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工作臺
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設(shè)計
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馬達驅(qū)動可編程X/Y平臺
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大移動范圍 255 × 235 mm
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X/Y平臺移動速度 ≤ 80 mm/s
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X/Y平臺移動重復(fù)精度 ≤ 0.01 mm, 單向
可用樣品放置區(qū)域 300 × 350 mm
Z軸 可編程運行
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Z軸移動范圍 140 mm
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樣品大重量 5 kg,降低精度可達20kg
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樣品大高度 140 mm
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環(huán)境要求
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使用時溫度
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10°C – 40°C
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存儲或運輸溫度
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0°C – 50°C
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空氣相對濕度
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≤ 95 %, 無結(jié)露
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計算單元
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計算機
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帶擴展卡的計算機系統(tǒng)
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軟件
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標準: WinFTM® V.6 LIGHT 可選: WinFTM® V.6 BASIC,PDM®,SUPER
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執(zhí)行標準
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CE合格標準
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EN 61010
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X射線標準
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DIN ISO 3497和 ASTM B 568
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型式批準
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**而保護**的測量儀器, 型式許可符合德國“Deutsche R?ntgenverordnung-R?V”法規(guī)規(guī)定。
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德國菲希爾公司的X射線熒光鍍層膜厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XDLM237訂貨號
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FISCHERSCOPE
X-RAY XDLM 237
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604-347
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如有特殊要求,可與FISCHER磋商,定制特殊的XDLM型號。
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